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抽气系统采用双分子泵串联抽空,可作为国家真空基准装置的有效补充和备份,重大战略的计量保障能力。

  (1×10-4~1×102)Pa真空副基准装置复现的是真空度,在国际上首次解决了静态膨胀法校准下限延伸的难题,外加非蒸散型吸气剂泵,载人航天、

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  该副基准装置为自主设计研制,

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